华海清科获得发明专利授权：“化学机械抛光组合物及其在化学机械抛光中的应用”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“化学机械抛光组合物及其在化学机械抛光中的应用”，专利申请号为CN202411628960.2，授权日为2025年3月14日。

专利摘要：本发明属于芯片制造技术领域，具体涉及化学机械抛光组合物及其在化学机械抛光中的应用。本发明所述纳米复合磨料是化学机械抛光组合物的组成部分，其包括少层石墨包覆的纳米级Al2O3磨料，纳米复合磨料中C元素的质量分数不高于10wt.%。本发明采用两步煅烧法制备出的少层石墨包覆的纳米级Al2O3磨料，通过在磨料界面引入石墨层间范德华力，成功取代Al2O3颗粒间的共价化学键，在不加入分散剂和硅烷偶联剂的条件下，也可实现磨料在抛光液中的均匀分散，降低抛光液的生产成本，并且本发明中磨料的均匀分散优势不会随抛光液pH值的变化而降低，均匀分散的磨料颗粒在抛光过程中能够更有效地与晶圆表面接触，提高粗抛效率。

今年以来华海清科新获得专利授权17个，较去年同期增加了54.55%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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