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晶升股份获得发明专利授权:“一种液相法碳化硅长晶时晶体质量的测量系统及方法”

来源:证券之星企业动态 2025-03-08 03:32:14
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶升股份(688478)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种液相法碳化硅长晶时晶体质量的测量系统及方法”,专利申请号为CN202210034866.9,授权日为2025年3月7日。

专利摘要:本发明公开了一种液相法碳化硅长晶时晶体质量的测量系统,包括设置有液体原料的坩埚、石墨盘以及驱动石墨盘上下移动的石墨盘驱动装置,石墨盘下方设置生长晶体籽晶,籽晶或晶体始终与液体原料接触,石墨盘上方设置电连接的第一导电棒,坩埚下方设置电连接的第二导电棒,电阻检测模块用于实时检测两个导电棒之间的电阻,数据采集模块用于采集石墨盘移动的位移数据,计算模块用于计算晶体的质量,显示模块用于实时显示晶体的质量。通过导电棒与石墨盘电连接,并通过实时测量导电棒之间的电阻,将电阻转化为碳化硅晶体生长过程中的质量,并实时显示,有助于操作人员实时观测碳化硅晶体的生长是否符合要求,显示的碳化硅晶体长晶质量较为准确。

今年以来晶升股份新获得专利授权1个,与去年同期持平。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2181.94万元,同比增53.94%。

数据来源:天眼查APP

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