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聚灿光电获得发明专利授权：“石墨载盘及具有其的MOCVD反应装置”

来源：证券之星企业动态 2025-03-05 02:46:27

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示聚灿光电（300708）新获得一项发明专利授权，专利名为“石墨载盘及具有其的MOCVD反应装置”，专利申请号为CN201910575797.0，授权日为2025年3月4日。

专利摘要：本发明揭示了一种石墨载盘及具有其的MOCVD反应装置，石墨载盘呈圆形，且由石墨载盘中心朝向边缘的方向上，石墨载盘包括里圈区域、中圈区域及外圈区域，石墨载盘上设有若干用于承载4英寸衬底的凹槽，凹槽包括位于里圈区域的里圈凹槽、位于中圈区域的中圈凹槽及位于外圈区域的外圈凹槽，里圈区域设有6个里圈凹槽。本发明通过调整里圈凹槽的位置，使得里圈区域可以放置6个里圈凹槽，实现了4英寸外延生产的最大载片数，同时，可以有效改善现有石墨载盘技术在外延片生长过程中产生的圈位电压差异。

今年以来聚灿光电新获得专利授权1个。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了1.29亿元，同比增0.23%。

数据来源：天眼查APP

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