天岳先进获得发明专利授权：“一种测试切割后导电型碳化硅晶圆的电阻率的方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示天岳先进（688234）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种测试切割后导电型碳化硅晶圆的电阻率的方法”，专利申请号为CN202310919290.9，授权日为2025年3月4日。

专利摘要：本申请公开了一种测试切割后导电型碳化硅晶圆的电阻率的方法，属于碳化硅晶圆技术领域，包括以下步骤：a.分段清洗：将切割后的碳化硅晶圆放在花篮中，依次经过放置有机溶剂、酸液或碱液、水的酸碱槽浸泡，清洗后在有机溶剂中超声，干燥；b.使用FRT面型测试仪，测试晶圆表面多个点的厚度，最后取得到厚度数据的平均值；c.使用非接触式的电阻率测试仪，输入晶圆的平均厚度，按点位分布设置测试点，测试时令探测头在每个点位上测试两次，最后画出整个晶圆表面的电阻率分布图，并统计最大值、最小值以及平均值。本申请通过使用限定种类溶液清洗，把电阻率测试提前到研磨以前，节约成本；匹配特定的点位分布，为判断晶圆质量提供准确依据。

今年以来天岳先进新获得专利授权2个，较去年同期减少了71.43%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5620.98万元，同比减37.41%。

数据来源：天眼查APP

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