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敏芯股份获得发明专利授权：“压力传感器及其制造方法”

来源：证券之星企业动态 2025-03-01 03:22:33

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项发明专利授权，专利名为“压力传感器及其制造方法”，专利申请号为CN201910166629.6，授权日为2025年2月28日。

专利摘要：本发明涉及一种压力传感器及其制造方法，该方法包括：提供衬底；在所述衬底的表面形成若干间隔排列的第一孔；进行第一热处理，使得若干所述第一孔合并成悬空的第一真空腔；形成与所述第一真空腔连通的沟槽以及由所述沟槽环绕的感应本体。该方法简化了压力传感器的制造工艺。同时制备的压力传感器，其感压薄膜受外界应力的影响较小。

今年以来敏芯股份新获得专利授权11个，较去年同期减少了26.67%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了3922.75万元，同比增4.05%。

数据来源：天眼查APP

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