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兴福电子获得发明专利授权:“一种P-硅的浸泡腐蚀液”

来源:证券之星企业动态 2025-02-26 02:59:37
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示兴福电子(688545)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种P-硅的浸泡腐蚀液”,专利申请号为CN202211669828.7,授权日为2025年2月25日。

专利摘要:本发明提供了一种P?硅的浸泡腐蚀液,该蚀刻液由硝酸、过一硫酸、醋酸、含氟酸、铵盐、添加剂和去离子水组成。在该蚀刻液中,硝酸为主氧化剂,过一硫酸为助氧化剂,加快了对硅的氧化速率,含氟酸在蚀刻液中溶解二氧化硅,醋酸起到了缓冲蚀刻速率的作用的同时还与铵盐协同作用使反应过程中生成大量的微小气泡在硅片表面与溶液间迅速的交换,从而获得均一的蚀刻表面。添加剂增加了蚀刻液对反应生成物的溶解能力。因此本发明中的P?硅的浸泡腐蚀液能够在浸泡工艺条件下,蚀刻P?硅,避免了黑硅的生成,获得均匀的磨砂表面。

今年以来兴福电子新获得专利授权6个。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2824.56万元,同比减nan%。

数据来源:天眼查APP

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