证券之星消息,根据天眼查APP数据显示上海新阳(300236)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆电镀设备”,专利申请号为CN202010461603.7,授权日为2025年2月25日。
专利摘要:本发明提供一种晶圆电镀设备。该晶圆电镀设备包括:电镀液槽,所述电镀液槽设置有搅拌装置,用于搅拌电镀液;盖子,所述盖子盖接在所述电镀液槽上;晶圆,所述晶圆可旋转地安装在所述盖子上;和第一驱动机构,所述第一驱动机构与所述晶圆传动连接,用于驱动所述晶圆周向旋转。本发明提供的晶圆电镀设备中,电镀过程中,搅拌装置可搅拌电镀液槽中的电镀液,电镀液分布均匀,第一驱动机构可驱动晶圆旋转,金属离子可更均匀地电镀在晶圆表面,避免由于电势线不均匀分布导致金属离子不均匀电镀在晶圆表面,使用方便,电镀效果好。
今年以来上海新阳新获得专利授权5个,较去年同期减少了68.75%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了9709.66万元,同比增51.71%。
数据来源:天眼查APP
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