华海清科获得发明专利授权：“晶圆干燥装置和晶圆干燥方法”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆干燥装置和晶圆干燥方法”，专利申请号为CN202411612207.4，授权日为2025年2月18日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆干燥装置和晶圆干燥方法。该晶圆干燥装置包括：卡盘；支撑件，设置于卡盘上，用于支撑晶圆；旋转机构，连接于所述卡盘，用于驱动卡盘旋转；液体回收机构，呈环状布置于所述卡盘的径向外侧，用于承接晶圆旋转向外甩出的液体；在所述卡盘的上表面边缘的部位沿周向设置有凹陷部，所述凹陷部的最低点到卡盘上表面边缘之间平滑过渡。晶圆干燥方法通过所述晶圆干燥装置实现。采用上述技术方案，本发明的晶圆干燥装置和晶圆干燥方法，优化了液体的排出路径，确保液滴迅速进入液体回收机构，提高干燥效果和液体回收效率。

今年以来华海清科新获得专利授权12个，较去年同期增加了20%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。