华海清科获得发明专利授权：“一种化学机械抛光系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种化学机械抛光系统”，专利申请号为CN202211570483.X，授权日为2025年2月18日。

专利摘要：本发明公开了一种化学机械抛光系统，其包括：前置单元；抛光单元；清洗单元，设置于前置单元与抛光单元之间；所述抛光单元包括多个抛光模块，所述抛光模块包括抛光盘、抛光组件和装卸台，所述装卸台设置于抛光盘的外侧，所述抛光组件设置于抛光盘和装卸台的上侧；所述抛光组件包括支撑架和悬挂于支撑架下方的承载头，旋转的支撑架能够带动承载头装载的晶圆在装卸台与抛光盘之间移动；所述抛光模块还包括设置于承载头上方的保湿机构，所述保湿机构包括输液件和防护件，所述防护件罩设于所述承载头的上侧；所述承载头旋转至装卸台时，所述输液件能够与所述防护件插接固定并输送流体，以在承载头的外周侧形成水帘。

今年以来华海清科新获得专利授权12个，较去年同期增加了20%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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