证券之星消息,根据天眼查APP数据显示大族激光(002008)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“原子层沉积用承载舟及原子层沉积设备”,专利申请号为CN202323568620.9,授权日为2025年2月11日。
专利摘要:本申请提供了一种原子层沉积用承载舟及原子层沉积设备,子层沉积用承载舟,包括:舟体,包括两个侧板,侧板的内侧面的上端设有第一卡槽,侧板的内侧面的下端设有第二卡槽,一侧板设有第一开口,另一侧板设有第二开口;第一槽齿条,位于两侧板之间,第一槽齿条的端部插入第一卡槽中并与侧板可拆卸连接;第二槽齿条,位于两侧板之间,第二槽齿条的端部插入第二卡槽中并与侧板可拆卸连接;第三槽齿条,一端穿过第一开口并可拆卸地插入第二开口,另一端位于第一开口中;以及拨片组件,可拆卸地设置第一开口上并与第三槽齿条可拆卸连接固定。本申请实施例的原子层沉积用承载舟,能够方便地更换槽齿,而不会造成承载舟的定位偏移,降低维修成本。
今年以来大族激光新获得专利授权36个,较去年同期减少了14.29%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了8.01亿元,同比增4.95%。
数据来源:天眼查APP
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