双元科技获得发明专利授权：“一种基于白光干涉的薄膜厚度测量方法及系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示双元科技（688623）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基于白光干涉的薄膜厚度测量方法及系统”，专利申请号为CN202411485181.1，授权日为2025年1月28日。

专利摘要：本发明公开了一种基于白光干涉的薄膜厚度测量方法及系统，方法包括：控制光源发出白光垂直入射至被测薄膜，经反射和折射之后形成干涉光；对干涉光进行分析，根据多个波长下的被测干涉光强度获得被测干涉光强度曲线；被测薄膜的厚度在第一预设厚度范围内时，对被测干涉光强度曲线进行转换，获得被测反射率曲线，根据样品反射率曲线与被测反射率曲线计算匹配度，根据匹配度计算被测薄膜的厚度；被测薄膜的厚度在第二预设厚度范围内时，基于被测干涉光强度曲线进行傅里叶变换和频域插值处理，获得插值频率，根据插值频率计算获得被测薄膜的厚度；该方法能够提高薄膜厚度检测的效率，并保证检测的准确性。

今年以来双元科技新获得专利授权2个，较去年同期增加了100%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1945.79万元，同比增51.45%。

数据来源：天眼查APP

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