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华海清科获得发明专利授权：“一种清洗刷组件和晶圆清洗装置”

来源：证券之星企业动态 2025-01-08 02:19:37

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种清洗刷组件和晶圆清洗装置”，专利申请号为CN202111298054.7，授权日为2025年1月7日。

专利摘要：本发明公开了一种清洗刷组件和晶圆清洗装置，清洗刷组件包括清洗刷和连接于清洗刷一端的进液机构，进液机构包括进液端盖、随动轴和轴承组件；进液端盖具有进液端，进液端盖的一侧设有伸出的细轴和围绕细轴的环形侧壁，在细轴和环形侧壁之间形成环形槽，细轴中空并通过进液端盖内部的第一通路与进液端连通；随动轴的一端套设在细轴的外周侧并伸入环形槽中以使细轴插入随动轴的中心通孔内，随动轴的另一端伸入清洗刷内，中心通孔贯穿随动轴以将第一通道与清洗刷导通从而将液体引入清洗刷内；轴承组件套设在随动轴的外周侧。

今年以来华海清科新获得专利授权3个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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