证券之星消息,根据天眼查APP数据显示兴福电子(688545)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆激光烧蚀后的清洗液及清洗方法”,专利申请号为CN202211094575.5,授权日为2025年1月7日。
专利摘要:本发明属于电子化学品领域,具体涉及一种晶圆激光烧蚀后的清洗液及清洗方法。所述清洗液主要用于晶圆激光烧蚀后有机物残留及颗粒的清洗,并减少对晶圆表面金属的腐蚀,组成包括有机溶剂、金属缓蚀剂、表面活性剂、pH调节剂和高纯水。有机溶剂用于溶解有机物残留;金属缓蚀剂可以避免清洗液对晶圆表面金属造成腐蚀;表面活性剂用于改善清洗液的浸润性并使颗粒物脱离晶圆表面进入溶液;pH调节剂维持清洗液的碱性环境,增强对晶圆表面烧熔物的清洗效果。
今年以来兴福电子新获得专利授权1个。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2824.56万元,同比减nan%。
数据来源:天眼查APP
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