证券之星消息,根据天眼查APP数据显示大族激光(002008)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“托底板的固定结构及原子层沉积设备”,专利申请号为CN202323507040.9,授权日为2025年1月7日。
专利摘要:本申请提供了一种托底板的固定结构及原子层沉积设备,托底板的固定结构,包括:外腔门板;内腔门板,位于外腔门板的一侧并与外腔门板具有间距,内腔门板包括第一通孔;托底板,位于内腔门板背离外腔门板的一侧,托底板的一端穿过第一通孔并连接外腔门板;以及密封管,套装在托底板与外腔门板连接的一端上,密封管的一端与外腔门板连接,另一端罩住第一通孔的一端并与内腔门板连接固定。本申请实施例的托底板的固定结构,能够将托底板的重量转移到外腔门板上,避免内腔门板形变,避免工艺气体泄漏。
今年以来大族激光新获得专利授权12个,较去年同期增加了100%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了8.01亿元,同比增4.95%。
数据来源:天眼查APP
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