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海目星获得实用新型专利授权：“一种晶圆扩膜机构”

来源：证券之星企业动态 2025-01-07 02:28:33

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示海目星（688559）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆扩膜机构”，专利申请号为CN202323474795.3，授权日为2025年1月7日。

专利摘要：本申请公开一种晶圆扩膜机构，涉及晶圆加工技术领域，该晶圆扩膜机构包括膜材吸附平台以及至少三个夹持拉伸模组，至少三个夹持拉伸模组沿目标圆的圆周方向均匀分布在膜材吸附平台的周围，且每一个夹持拉伸模组能够在所在的方位夹持膜材吸附平台上的膜材并沿目标圆的径向拉伸膜材，目标圆以膜材吸附平台的中心为圆心。本技术方案，其可自动实现晶圆扩膜操作的同时，可根据需求去控制扩晶的间距，以及保证芯片在膜材上整齐排布。

今年以来海目星新获得专利授权33个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了2.49亿元，同比增3.61%。

数据来源：天眼查APP

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