华海清科获得发明专利授权：“应用多模态信号补偿的金属膜厚测量方法、装置、电子设备及存储介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“应用多模态信号补偿的金属膜厚测量方法、装置、电子设备及存储介质”，专利申请号为CN202411280836.1，授权日为2024年12月27日。

专利摘要：本申请提供了一种应用多模态信号补偿的金属膜厚测量方法、装置、电子设备及存储介质，方法包括：检测抛光垫的厚度，根据厚度确定电涡流传感器对应的提离高度；检测化学机械抛光装置的抛光垫上抛光液的导电率；根据导电率，对提离高度进行修正；获得电涡流传感器对晶圆的金属层进行非接触测量输出的测量信号；根据修正后的提离高度以及电涡流传感器输出的测量信号，得到晶圆的金属膜厚。本申请提供的方案，在修正过程中不仅考虑到了抛光垫厚度，还考虑到了抛光液的导电情况，基于多模态数据对提离高度进行修正，提高了提离高度的准确性，使得根据提离高度得到的晶圆上的金属膜厚也更加准确。

今年以来华海清科新获得专利授权42个，较去年同期减少了56.25%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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