华海清科获得发明专利授权：“旋转机构和晶圆清洗装置”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“旋转机构和晶圆清洗装置”，专利申请号为CN202411186267.4，授权日为2024年12月24日。

专利摘要：本申请提供了一种旋转机构和晶圆清洗装置，涉及晶圆清洗技术领域，所述旋转机构包括：外端盖、内端盖、旋转轴和环形垫。外端盖和内端盖设置于旋转轴上，环形垫被夹持在外端盖与内端盖之间。旋转轴中设置有第一流道，外端盖上与环形垫相对的侧面设置有第二流道，内端盖上与环形垫相对的侧面设置有第三流道，第一流道分别与第二流道和第三流道连通。第一流道，用于分别向第二流道和第三流道输送流体，流体通过第二流道和第三流道分别流经环形垫的第一侧面和第二侧面，并从环形垫远离旋转轴的一侧流出。本方案可以避免晶圆被污染或磨损。

今年以来华海清科新获得专利授权41个，较去年同期减少了56.84%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。