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晶升股份获得实用新型专利授权:“一种碳化硅外延设备工艺排气冷却过滤装置”

来源:证券之星企业动态 2024-12-21 03:05:37
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶升股份(688478)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种碳化硅外延设备工艺排气冷却过滤装置”,专利申请号为CN202420458248.1,授权日为2024年12月6日。

专利摘要:本实用新型涉及碳化硅材料晶体镀膜领域,具体涉及一种碳化硅外延设备工艺排气冷却过滤装置。该实用新型包括气体冷却器、颗粒物过滤器。相较于现有技术,本实用新型通过密封圈连接气体冷却器和颗粒物过滤器连接,结构更加紧凑,同时减少了连接点使得系统漏点大幅减少,拆卸维护也极为方便;气体冷却器采用双层盘管结构,保证了气体流道畅通,有利于大流量气体冷却;气体冷却器主体采用圆筒形结构,便于打扫清理。

今年以来晶升股份新获得专利授权7个,较去年同期增加了16.67%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2181.94万元,同比增53.94%。

数据来源:天眼查APP

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