中微公司获得实用新型专利授权：“一种基座组件及基板处理装置”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种基座组件及基板处理装置”，专利申请号为CN202420685939.5，授权日为2024年12月10日。

专利摘要：本实用新型属于等离子体处理技术领域，为了解决大尺寸平板边缘成膜质量的技术问题，本实用新型提供了一种基座组件及应用该基座组件的基板处理装置。具体包括本体，其上表面包含中心区域和围绕并低于所述中心区域的边缘区域；绝缘材质的中间环，其设置于所述边缘区域上，所述中间环的上表面包含靠近所述中心区域的内侧区域和围绕并低于所述内侧区域的外侧区域；覆盖环，其包含设置于所述外侧区域上的内覆盖部和设置于所述边缘区域上的外覆盖部；以及，所述基板的外边缘超过所述中心区域且位于所述内侧区域上方。主要用于在大尺寸基板上执行等离子体增强化学气相沉积工艺。

今年以来中微公司新获得专利授权114个，较去年同期减少了21.92%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。