中微公司获得实用新型专利授权：“托盘的旋转支撑结构及半导体外延设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“托盘的旋转支撑结构及半导体外延设备”，专利申请号为CN202323279007.5，授权日为2024年12月10日。

专利摘要：本实用新型公开了一种托盘的旋转支撑结构，包括：旋转轴；多个支撑臂，其呈散射状分布在所述旋转轴的侧壁上，每个所述支撑臂包括第一端和第二端，所述第一端与所述旋转轴连接，所述第二端沿所述旋转轴向外延伸；多个调节柱，所述调节柱具有不同高度，每个所述支撑臂的第二端可更换设置不同高度的所述调节柱，使多个所述调节柱的顶面位于同一水平面内以共同支撑一托盘。本实用新型能够有效减小托盘旋转时的上下跳动，提高设备稳定性以及外延薄膜的均匀性和成膜质量。本实用新型通过设置不同高度的调节柱，调节旋转支撑结构的高度和水平度，使多个调节柱的顶面位于同一水平面内共同支撑托盘，消除了托盘旋转时的上下跳动。

今年以来中微公司新获得专利授权114个，较去年同期减少了21.92%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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