晶盛机电获得发明专利授权：“抛光垫布置装置及布置方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“抛光垫布置装置及布置方法”，专利申请号为CN202411147714.5，授权日为2024年11月22日。

专利摘要：本发明提供了一种抛光垫布置装置及布置方法，属于晶片抛光技术领域，解决了现有技术布置抛光垫时容易产生气泡凸起的问题。本发明应用于抛光垫，抛光垫外周设有多个连接部，连接部具有偏离抛光垫所在平面的活动自由度，布置装置包括载体，载体包括：第一吸附件，第一吸附件设置于载体内，第一吸附件作用于载体的上表面内圈以形成一真空吸附区，真空吸附区真空吸附区外周设有铺平区，用于供抛光垫伸展铺平；铺平组件，铺平组件包括固定件，固定件具有拉伸或松脱抛光垫的活动自由度；以及检测组件，检测组件包括平面度检测单元，平面度检测单元作用于真空吸附区和/或铺平区以获取抛光垫的平面度，且平面度检测单元分别与固定件和吸附件通信连接。

今年以来晶盛机电新获得专利授权114个，较去年同期减少了28.75%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.11亿元，同比增1.92%。

数据来源：天眼查APP

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