证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种槽式清洗机及半导体机台”,专利申请号为CN202323324980.4,授权日为2024年11月26日。
专利摘要:本实用新型提供了一种槽式清洗机及半导体机台,包括:化学品槽;循环管,其两端分别与所述化学品槽连通;循环结构,设于所述循环管上;取样管,其进水口连通于所述循环结构的出水口,出水口连通于所述化学品槽;浓度计,设于所述取样管上;以及清洗结构,设于所述取样管上,且与所述浓度计的两端连通。通过本实用新型提供的一种槽式清洗机及半导体机台,能够便于对浓度计进行校正。
今年以来晶合集成新获得专利授权242个,较去年同期增加了15.24%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。
数据来源:天眼查APP
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