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诺瓦星云获得实用新型专利授权：“清洗装置及返修设备”

来源：证券之星企业动态 2024-11-16 03:37:18

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示诺瓦星云（301589）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“清洗装置及返修设备”，专利申请号为CN202323599692.X，授权日为2024年11月12日。

专利摘要：本申请属于晶圆缺陷维修技术领域，提供了一种清洗装置及返修设备，清洗装置包括清洗组件、活动座、磁吸组件、传动机构及驱动组件；磁吸组件连接于清洗组件和活动座之间，以用于使清洗组件磁吸连接于活动座上；驱动组件通过传动机构与活动座联动配合，以使清洗组件沿预设轨迹运动。本申请旨在解决现有技术中清洗部件更换费时费力的技术问题。

今年以来诺瓦星云新获得专利授权157个。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.45亿元，同比增35.4%。

数据来源：天眼查APP

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