证券之星消息,根据天眼查APP数据显示诺瓦星云(301589)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“清洗装置及返修设备”,专利申请号为CN202323599692.X,授权日为2024年11月12日。
专利摘要:本申请属于晶圆缺陷维修技术领域,提供了一种清洗装置及返修设备,清洗装置包括清洗组件、活动座、磁吸组件、传动机构及驱动组件;磁吸组件连接于清洗组件和活动座之间,以用于使清洗组件磁吸连接于活动座上;驱动组件通过传动机构与活动座联动配合,以使清洗组件沿预设轨迹运动。本申请旨在解决现有技术中清洗部件更换费时费力的技术问题。
今年以来诺瓦星云新获得专利授权157个。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.45亿元,同比增35.4%。
数据来源:天眼查APP
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