证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种静电吸盘及其制造方法、等离子体处理装置”，专利申请号为CN201910996040.9，授权日为2024年11月8日。
专利摘要：本申请提供一种静电吸盘，包括底座和和底座上设置的圆盘结构，圆盘结构的上表面用于固定晶圆。其中，底座中形成有第一通孔，第一通孔中形成有分流部件，分流部件将第一通孔分为多个子通孔，分流部件和第一通孔的侧壁之间形成有填充层；圆盘结构中形成有轴向贯穿圆盘结构的第二通孔，第一通孔的尺径大于第二通孔的尺径，第一通孔和第二通孔连通。冷却气体可以通过第一通孔中的多个子通孔流向第二通孔，从而与圆盘结构上固定的晶圆接触来调节晶圆温度，而填充层可以填充分流部件和底座之间的侧壁间隙，减小了冷却气体的放电空间，降低了冷却气体被击穿的可能性，提高静电吸盘的使用寿命。
今年以来中微公司新获得专利授权100个，较去年同期减少了27.01%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成，不构成投资建议。
首页
微信公众号
证券之星APP
