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扬杰科技获得实用新型专利授权:“避免打火现象的高压碳化硅产品”

来源:证券之星企业动态 2024-09-17 02:12:38
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示扬杰科技(300373)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“避免打火现象的高压碳化硅产品”,专利申请号为CN202323515553.4,授权日为2024年9月17日。

专利摘要:避免打火现象的高压碳化硅产品,涉及半导体技术领域。本实用新型中沟槽刻蚀区可以和对准标记图形同一层光刻板制作,不增加工艺复杂度和制造成本。芯片边缘刻蚀沟槽使得P区注入结深增加,在器件反向加压测试时时,使得背面电极的等势面不再划片道表面,由于刻蚀形成的深PN结在反向耗尽时,其电场梯度几乎全部转移到耗尽区内,划片道表面电势将被极大限度的拉低,两者之间的电势差根本不足以激发空气电离,从未避免上述打火现象的发生。并且,刻蚀后形成的PN结深更深,电场梯度转移到更深的外延层内,终端至划片道可以设计的更小,从而提高晶圆利用率,降低成本。

今年以来扬杰科技新获得专利授权69个,较去年同期增加了86.49%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.97亿元,同比增19.31%。

数据来源:天眼查APP

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