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晶盛机电获得发明专利授权:“一种抛光设备”

来源:证券之星企业动态 2024-09-14 02:25:57
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种抛光设备”,专利申请号为CN202410874366.5,授权日为2024年9月13日。

专利摘要:本申请涉及半导体抛光技术领域,尤其是涉及一种抛光设备及检测方法,包括:抛光盘,所述抛光盘具有工作面;抛光垫,所述抛光垫粘接设置于所述工作面上;以及检测组件,所述检测组件位于所述抛光盘和所述抛光垫之间,并连接于所述抛光盘或所述抛光垫上,所述检测组件用于检测所述抛光垫和所述抛光盘之间的间距并输出。解决了抛光垫状态无法检测的技术问题,达到了实时检测抛光垫及气泡状态的技术效果。

今年以来晶盛机电新获得专利授权101个,较去年同期减少了23.48%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.11亿元,同比增1.92%。

数据来源:天眼查APP

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