中微公司获得发明专利授权：“等离子体反应器及其射频功率分布调节方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体反应器及其射频功率分布调节方法”，专利申请号为CN202010255484.X，授权日为2024年9月6日。

专利摘要：一种等离子体反应器和射频功率分布调节方法，等离子体反应器包括：反应腔，其内底部设导电基座，导电基座通过第一匹配器电路连到第一射频电源装置，导电基座上设静电夹盘，静电夹盘吸附待处理基片，待处理基片上为等离子体环境；插入环，设在导电基座外围；聚焦环，设在插入环上方，聚焦环围绕静电夹盘且暴露于等离子体环境中；耦合环，包括底部环和凸出部，凸出部位于插入环与导电基座间，底部环位于插入环下方，插入环内壁与导电基座外壁的间隙大于0.02毫米小于10毫米；设备板，位于导电基座下方；导线，其第一端电连接到导电基座或设备板，其第二端电连接到插入环，可变阻抗装置串联在导线上。所述等离子体反应器的射频可调且能降低电弧放电。

今年以来中微公司新获得专利授权91个，较去年同期增加了5.81%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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