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中微公司获得发明专利授权：“一种托爪、气锁室及等离子体处理装置主机平台”

来源：证券之星企业动态 2024-09-07 02:26:45

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种托爪、气锁室及等离子体处理装置主机平台”，专利申请号为CN201910497710.2，授权日为2024年9月6日。

专利摘要：本发明公开了一种托爪、气锁室及等离子体处理装置主机平台，成对的两个所述托爪与晶圆的边缘部分接触以承托所述晶圆；所述托爪包括软质耐磨材料，所述软质耐磨材料设置在所述托爪上，用于减少或避免当晶圆与所述托爪接触时所产生的颗粒。本发明通过在托爪上设置软质耐磨材料实现了托爪与晶圆的软接触，有效避免了硅晶圆与托爪硬接触所产生的摩擦，进而能够防止颗粒的产生，大大降低了晶圆的缺陷率。

今年以来中微公司新获得专利授权91个，较去年同期增加了5.81%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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