广钢气体获得发明专利授权：“一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示广钢气体（688548）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统”，专利申请号为CN202410053230.8，授权日为2024年8月27日。

专利摘要：本发明涉及一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统，包括储罐、输送管道、气化管道和回流管道，所述储罐分别与所述输送管道、气化管道和回流管道连接，所述输送管道上设有第一阀门和与第一阀门连接的第一加热器，所述气化管道上设有第二阀门和与第二阀门连接的第二加热器，所述储罐上设有液位计，所述气化管道还与所述回流管道连接；当液位高度低于第一预设值时，所述第二阀门打开，通过所述加热器将储罐内的液体气化并经所述回流管道流至所述储罐内。通过根据储罐的上下限压力值来对储罐内液态二氧化碳进行正常输送，一方面可以保证储罐的正常使用(防止存在气压过低或过高的情况)，另一方面保证了二氧化碳的连续供应性。

今年以来广钢气体新获得专利授权21个，较去年同期增加了600%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5073.46万元，同比增2.66%。

数据来源：天眼查APP

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