晶盛机电获得发明专利授权：“载台倾斜角度检测方法和载台调平方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“载台倾斜角度检测方法和载台调平方法”，专利申请号为CN202410403162.3，授权日为2024年8月6日。

专利摘要：本申请涉及一种载台倾斜角度检测方法和载台调平方法，其中，该载台倾斜角度检测方法包括：获取晶圆载台平面的单张激光干涉图；将激光干涉图转换为频谱图，并从频谱图中获取0级项和目标频率分量各自的位置信息；该目标频率分量为+1级项和?1级项；基于0级项和目标频率分量分别在频谱图中的位置信息、激光器的激光波长以及成像设备的像素参数，确定晶圆载台平面对应的物参角，根据物参角，确定晶圆载台平面的倾斜角度。其仅基于单张激光干涉图即能实现对载台平面倾斜角度的测量，从而无需采集多张激光干涉图，进而降低了载台调平耗时。

今年以来晶盛机电新获得专利授权89个，较去年同期减少了15.24%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了11.45亿元，同比增43.83%。

数据来源：企查查

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