中微公司获得实用新型专利授权：“气体喷淋头及气相沉积设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“气体喷淋头及气相沉积设备”，专利申请号为CN202323479470.4，授权日为2024年8月6日。

专利摘要：本实用新型公开了一种气体喷淋头及气相沉积设备，所述气体喷淋头包括：气体分配板，多个第一气体气孔，间隔分布在气体分配板上的第一输送通道上。多个第二气体气孔，间隔分布在气体分配板上的第二输送通道上，第一/二气体气孔用于向待处理基片的表面供应第一和第二气体。位于气体分配板中心的第一气体输送通道称为中心第一气体输送通道，与中心第一气体输送通道相邻的第二气体输送通道称为中心第二气体输送通道。多个第二气体中心补气孔，多个第二气体中心补气孔的出口间隔分布在中心第一气体输送通道所在区域上，用于向气体分配板的下方中心区域补充第二气体。本实用新型提高了反应腔的中心区域处气相前驱体分布的均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权87个，较去年同期增加了11.54%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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