证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“下电极组件、等离子体处理装置和更换聚焦环的方法”，专利申请号为CN202011321713.X，授权日为2024年8月6日。
专利摘要：一种下电极组件、等离子体处理装置和更换聚焦环的方法，其中，所述下电极组件包括：基座，用于承载待处理基片；聚焦环，环绕于所述基座的外围；遮盖环，设于所述聚焦环下方，沿其周向设有若干个凹槽；移动块，设于所述凹槽内，其内侧顶角设有台阶，所述台阶用于支撑部分聚焦环；驱动装置，与所述移动块连接，用于驱动所述移动块带动聚焦环上下移动。利用所述下电极组件更换聚焦环时无需打开反应腔就能够实现更换。
今年以来中微公司新获得专利授权87个，较去年同期增加了11.54%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。
数据来源：企查查
以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。
首页
微信公众号
证券之星APP
