证券之星消息,根据企查查数据显示扬杰科技(300373)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种沟槽栅碳化硅MOSFET器件及其制备方法”,专利申请号为CN202410623579.0,授权日为2024年8月2日。
专利摘要:一种沟槽栅碳化硅MOSFET器件及其制备方法,涉及半导体技术领域。沟槽栅碳化硅MOSFET器件由于曲率效应,使得沟槽底部拐角易引起电场集中,并且生长形成的栅氧层由于较高的界面态导致质量较差,因此沟槽栅碳化硅MOSFET器件的沟槽底部拐角的保护设计决定着器件可靠性。本发明通过在沟槽底部形成高浓度的Pshield区,将拐角完全包裹,使得原本集中在沟槽栅氧底部拐角的场强集中在Pshield区,避免了沟槽栅氧的失效。
今年以来扬杰科技新获得专利授权63个,较去年同期增加了117.24%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了3.56亿元,同比增21.57%。
数据来源:企查查
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