证券之星消息,根据企查查数据显示安集科技(688019)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种化学机械抛光液”,专利申请号为CN201911402324.7,授权日为2024年8月2日。
专利摘要:本发明提供一种化学机械抛光液,包括:水、研磨颗粒,钨的抛光促进剂、过氧化物稳定剂、过氧化物以及直链聚丙烯酸或其盐。本发明的抛光液可以有效降低芯片的表面缺陷,显著提高产品的良率,同时具有优异的钨的抛光速度。
今年以来安集科技新获得专利授权6个,较去年同期增加了100%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了2.37亿元,同比增46.63%。
数据来源:企查查
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