天岳先进获得实用新型专利授权：“一种用于生长高均一性外延片的石墨盘及用于外延生长的装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示天岳先进（688234）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于生长高均一性外延片的石墨盘及用于外延生长的装置”，专利申请号为CN202323553639.6，授权日为2024年7月30日。

专利摘要：本申请公开了一种用于生长高均一性外延片的石墨盘及用于外延生长的装置，属于外延片生长技术领域。该石墨盘包括：石墨盘本体，所述石墨盘本体的上表面向下凹陷形成凹槽，所述凹槽边缘至凹槽中心设置有3?6个台阶，所述台阶的高度小于所述凹槽的高度，且所述台阶的高度自凹槽边缘向凹槽中心逐级递减，所述台阶为石墨材质。该石墨盘专门针对中心温度高而边缘温度低的温场进行设计，通过在凹槽内设置3?6个台阶，能够降低外延中心与边缘的温度差，使得外延片的厚度和掺杂可控，得到高均一性的外延片。

今年以来天岳先进新获得专利授权20个，较去年同期增加了66.67%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.37亿元，同比增7.57%。

数据来源：企查查

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