中微公司获得实用新型专利授权：“半导体零部件及半导体设备”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“半导体零部件及半导体设备”，专利申请号为CN202322522451.9，授权日为2024年7月9日。

专利摘要：本实用新型公开了一种半导体零部件及半导体设备，所述半导体零部件包含：零部件本体；高分子涂层，位于所述零部件本体的表面；所述高分子涂层为苯乙烯类热塑性弹性体涂层或聚酰亚胺涂层。本实用新型提供的零部件，在本体的表面施加苯乙烯类热塑性弹性体涂层或聚酰亚胺涂层，可以适用于具有小孔径，大深度的气孔或管道的零部件，用于等离子刻蚀设备或金属有机化学气相沉积设备。

今年以来中微公司新获得专利授权85个，较去年同期增加了11.84%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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