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博云新材获得发明专利授权:“管式化学气相沉积炉出气口温度场实时调节装置和方法”

来源:证券之星企业动态 2024-07-17 02:25:19
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证券之星消息,根据企查查数据显示博云新材(002297)新获得一项发明专利授权,专利名为“管式化学气相沉积炉出气口温度场实时调节装置和方法”,专利申请号为CN202211381308.6,授权日为2024年7月16日。

专利摘要:本发明公开了一种管式化学气相沉积炉出气口温度场实时调节装置和方法,该装置,包括炉体,所述炉体的底部设置有出气口;所述出气口呈阶梯孔状,出气口的小径孔段内固定装配有定盘,出气口的台阶处装配有动盘,所述定盘和动盘均开设有多个透气孔,所述动盘包括大盘体和小盘体;还包括控制器、用于驱动动盘旋转的旋转驱动模块、用于驱动旋转驱动模块升降的升降驱动模块以及用于出气口温度检测的温度传感器,所述旋转驱动模块、升降驱动模块以及温度传感器分别与控制器电连接。采用本申请的温度场实时调节装置和方法,实现了出气口温度场的精确调控,提高了产品质量。

今年以来博云新材新获得专利授权7个,较去年同期减少了36.36%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了4708.92万元,同比增11.79%。

数据来源:企查查

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