中微公司获得发明专利授权：“静电吸盘装置及包括该静电吸盘装置的等离子体处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“静电吸盘装置及包括该静电吸盘装置的等离子体处理装置”，专利申请号为CN201911227727.2，授权日为2024年7月9日。

专利摘要：本发明涉及一种静电吸盘(electrostatic chuck,ESC)装置，其包括静电吸盘及基座。静电吸盘的上表面用以吸附晶圆。基座的上表面与静电吸盘的下表面连结，静电吸盘中具有贯通静电吸盘的冷却气体孔，基座具有与冷却气体孔相对应的冷却通道，在冷却通道的靠近冷却气体孔的一端设置多孔塞，多孔塞的靠近冷却气体孔的一侧设置第一凹部，聚合物材料填充第一凹部及粘合多孔塞和冷却通道的内壁。本发明通过在冷却气体孔对应基座的侧壁所形成凹部填充聚合物材料，以实现极大地提高短期制造可靠性和长期化学侵蚀的可靠性，从而防止冷却气体孔和/或容纳升降销的通孔过早产生电压击穿现象。

今年以来中微公司新获得专利授权85个，较去年同期增加了14.86%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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