证券之星消息,根据企查查数据显示智立方(301312)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆检测平台”,专利申请号为CN202323067232.2,授权日为2024年7月9日。
专利摘要:本实用新型公开了一种晶圆检测平台,包括平台组件、转动组件、气路组件和升降组件;所述平台组件包括吸盘载台与升降台,所述吸盘载台中部装有透明玻璃,所述升降台在所述吸盘载台上方,且中部对应避空;所述升降组件通过组件的分离运动,带动所述升降台升降。本实用新型提供的晶圆检测平台,在满足晶圆正背面能同时检测的情况下,对晶圆的取放料更方便和高效,且升降台在升降过程中保持平稳,保证了检测时的精度与一致性,还避免了因升降过程中上下抖动而导致的晶圆掉落或碎裂。
今年以来智立方新获得专利授权16个,较去年同期减少了50%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了5425.99万元,同比增12.42%。
数据来源:企查查
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