中微公司获得实用新型专利授权：“用于支撑基片托盘的支撑组件及外延层生长设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“用于支撑基片托盘的支撑组件及外延层生长设备”，专利申请号为CN202323066334.2，授权日为2024年7月9日。

专利摘要：本实用新型公开了一种用于支撑基片托盘的支撑组件及外延层生长设备，其中，用于支撑基片托盘的支撑组件，包括：旋转轴；至少三个支臂，每个所述支臂的一端与所述旋转轴的顶部连接，另一端用于支撑基片托盘；透光盘，其设置在所述旋转轴的顶部，且与各所述支臂连接，其包括中心区域和包围中心区域的外围区域；导气部，其贯穿所述透光盘的中心区域的厚度设置；当对所述基片托盘测温时，测温光束穿过所述透光盘的外围区域照射至所述基片托盘的底部。本实用新型通过在旋转轴上设置透光盘，使得测温光束始终穿过该透光盘测量基片托盘底部温度，保证了测温数据的一致性；同时通过设置导气部，减少了沉积物的生成，进一步实现基片托盘温度的精准控制。

今年以来中微公司新获得专利授权84个，较去年同期增加了13.51%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。