中微公司获得实用新型专利授权：“静电吸盘及等离子体处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“静电吸盘及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202322941782.6，授权日为2024年7月9日。

专利摘要：本实用新型提供一种静电吸盘及等离子体处理装置。所述静电吸盘包括：介电层，其上表面用于承载晶圆，所述介电层中靠近所述上表面的位置设有上电极、远离所述上表面的位置设有下电极，所述下电极与所述上电极电性连接，并电连接至直流电源；所述介电层的内部还设有加热器，所述加热器位于所述下电极的上方或下方；基底，所述基底位于所述介电层的下方并与所述介电层连接，所述基底电连接至射频电源。本实用新型可以解决介电层与基底之间耦合电容小，射频耦合效率低的问题。

今年以来中微公司新获得专利授权84个，较去年同期增加了13.51%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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