证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置及调节方法”，专利申请号为CN202011540616.X，授权日为2024年7月5日。
专利摘要：本发明提供了一种等离子体处理装置，包括移动环以及与移动环固定连接的调节环，调节环可以跟随移动环升降，不会阻挡传片通道，调节环可以改变等离子体的反应速率，改善基片边缘的刻蚀均匀性，防止污染物颗粒回流产生刻蚀不良，还包括与移动环连接的间隔环，可以调整调节环与间隔环的高度比例，来改变基片边缘等离子体的刻蚀方向，对于不同条件的刻蚀有针对性的更换调节环来达到工艺要求，对于调整刻蚀参数提供了方便。
今年以来中微公司新获得专利授权79个，较去年同期增加了6.76%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。
数据来源：企查查
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