证券之星消息,根据企查查数据显示贵研铂业(600459)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种高纯铜靶材的制备方法及靶材的用途”,专利申请号为CN202211047631.X,授权日为2024年7月2日。
专利摘要:本发明公开了一种高纯铜靶材的制备方法及靶材的用途,所制备的铜靶材平均晶粒尺寸≤1μm,且分布均匀。制备步骤包括:将纯度≥4N的铜原料依次进行1)连续铸造;2)坯料切割;3)等通道侧向挤压;4)轧制;5)热处理,制得高纯铜靶材。该方法制备的高纯铜靶材具有晶粒尺寸均匀细小、取向较为一致、靶材尺寸较大且较厚等特点,可应用于大规模集成电路互连线的溅射镀膜。
今年以来贵研铂业新获得专利授权8个,较去年同期减少了60%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了3.4亿元,同比增12.1%。
数据来源:企查查
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