微导纳米获得实用新型专利授权：“一种载具及装卸片系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种载具及装卸片系统”，专利申请号为CN202322569639.9，授权日为2024年7月2日。

专利摘要：本实用新型公开了一种载具及装卸片系统，载具包括容纳座和承载件，容纳座具有一侧呈开口设置的容纳腔；承载件适于放置在容纳腔内，承载件上间隔开设有若干承载部，承载部与基片一一对应设置，承载部为凹槽结构，且在基片放置在承载部时，基片的被处理面朝向承载部的开口设置，以使基片的被处理面与处理气体接触。上述结构的载具，使得基片的被处理面裸露在容纳腔内，被处理面的反面与凹槽结构的底面抵接，不会裸露在容纳腔内，进而使得只有被处理面会与通入容纳腔的处理气体接触，其他各面不会与处理气体接触，进而避免了基片的其他面被处理。

今年以来微导纳米新获得专利授权31个，较去年同期增加了416.67%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.77亿元，同比增28%。

数据来源：企查查

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