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晶盛机电获得发明专利授权:“精度补偿方法及切片机”

来源:证券之星企业动态 2024-07-03 02:26:27
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证券之星消息,根据企查查数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为“精度补偿方法及切片机”,专利申请号为CN202210605333.1,授权日为2024年7月2日。

专利摘要:本申请涉及一种精度补偿方法及切片机,精度补偿方法包括以下步骤:获取硅片表面在硅棒轴线a所在方向的第一波动曲线;或者,获取移动切割单元沿着预设方向运动的过程中在硅棒的轴线a所在方向上的第二波动曲线;基于第一波动曲线或者第二波动曲线,获取第三波动曲线,其中,第三波动曲线在硅棒轴线a所在方向的波动变化与第一波动曲线和第二波动曲线在硅棒轴线a所在方向的波动变化大小相等且方向相反;调整滑轨部沿着硅棒轴线a所在方向的弯曲程度,使得滑轨部在硅棒轴线a所在方向的波动曲线与第三波动曲线相同。本申请提供的精度补偿方法及切片机,解决了现有的进刀装置沿着硅棒轴线方向的移动直线度较低进而导致硅片的翘曲度较大的问题。

今年以来晶盛机电新获得专利授权77个,较去年同期增加了2.67%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了11.45亿元,同比增43.83%。

数据来源:企查查

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