华海清科获得实用新型专利授权：“一种化学机械抛光系统”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种化学机械抛光系统”，专利申请号为CN202323048020.X，授权日为2024年6月14日。

专利摘要：本实用新型公开了一种化学机械抛光系统，所述化学机械抛光系统包括前置单元、抛光单元和清洗单元，三者模块化排列设置；所述抛光单元包括抛光盘和装卸部，所述装卸部设置于抛光盘的侧方，所述装卸部的外周侧配置有抛光刷洗组件，以清洁完成抛光的晶圆；所述抛光刷洗组件包括第一摆臂，第一摆臂的端部配置有第一刷头和第二刷头，其分别设置于第一摆臂的上侧和下侧，以分别预清洁晶圆的正面和背面。

今年以来华海清科新获得专利授权18个，较去年同期减少了68.97%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了3.04亿元，同比增40.33%。

数据来源：企查查

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