中微公司获得实用新型专利授权：“一种托盘搬运装置及气相沉积系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种托盘搬运装置及气相沉积系统”，专利申请号为CN202323160854.X，授权日为2024年6月7日。

专利摘要：本实用新型公开一种托盘搬运装置及气相沉积系统，所述托盘搬运装置用于移动半导体设备中承载基片的圆形的托盘，包括：滑轨，其长度大于所述托盘的径向长度；至少两个夹持机构，设置于所述滑轨上，所述夹持机构包括固定连接的夹持部和移动部；所述移动部可沿所述滑轨进行往复移动，以使至少两个所述夹持部夹持或脱离所述托盘；止动装置，设置于所述移动部上，用于将所述夹持机构锁定在所述滑轨上；以及提吊机构，设置于所述滑轨上，用于提起并搬运被夹持的托盘。本实用新型对托盘进行搬运时可以避免直接与托盘进行接触，从而避免对托盘上的晶圆造成颗粒污染；同时还能够在托盘的温度较高时搬运托盘，极大地节约搬运及更换托盘的时间。

今年以来中微公司新获得专利授权72个，较去年同期增加了5.88%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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