中微公司获得发明专利授权：“电感耦合型等离子处理设备及其盖体、介电窗温控方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“电感耦合型等离子处理设备及其盖体、介电窗温控方法”，专利申请号为CN201911318771.4，授权日为2024年6月7日。

专利摘要：本发明涉及一种电感耦合型等离子处理设备及其盖体、介电窗温控方法。用于电感耦合型等离子处理设备的盖体固定在介电窗上且对应所述介电窗的一面形成沟槽，所述沟槽用于容纳流体。本发明通过沟槽中的流体对介电窗进行控温，以达到控温精度高且稳定的功效。

今年以来中微公司新获得专利授权72个，较去年同期增加了5.88%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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