华海清科获得发明专利授权：“一种承载头及化学机械抛光装置”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种承载头及化学机械抛光装置”，专利申请号为CN201910042816.3，授权日为2024年5月24日。

专利摘要：本发明提供的一种承载头及化学机械抛光装置，所述承载头包括基座、弹性膜以及气管，所述基座包括与枢轴连接的第一部分和与所述弹性膜连接的第二部分，所述第一部分具有至少一个第一气孔，所述第二部分具有与所述第一气孔成对匹配的第二气孔，所述第一气孔和所述第二气孔通过所述气管连接以将气体从所述第一部分输送至所述第二部分以调节弹性膜与基座之间所形成的腔室的压力，用于连接所述第一气孔和所述第二气孔的所述气管沿所述第二部分的上表面弯曲延伸。

今年以来华海清科新获得专利授权16个，较去年同期减少了72.41%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了3.04亿元，同比增40.33%。

数据来源：企查查

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