证券之星消息，根据企查查数据显示敏芯股份（688286）新获得一项发明专利授权，专利名为“惯性传感器及其制备方法”，专利申请号为CN202110791961.9，授权日为2024年5月14日。
专利摘要：本申请提供了一种惯性传感器及其制备方法，解决了现有技术中批量生产的惯性传感器的性能均一性较差和电互联难度高的问题。其中，惯性传感器的制备方法包括：提供第一基板，第一基板包括第一导电层；提供第二基板，第二基板包括第一衬底，第一衬底的材料为单晶材料；将第一导电层和第一衬底结合在一起，形成结合界面；形成可动元件，可动元件包括至少部分第一衬底。
今年以来敏芯股份新获得专利授权36个，较去年同期增加了9.09%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了7790.71万元，同比增11.7%。
数据来源：企查查
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